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電子行業潔凈室的要求

發布者:管理員 時間:2015/6/6 點擊數:1807

電子工廠生產工藝分類眾多,有集成電路生產(分為光掩膜、前道工序、后道工序),平南顯示器生產(分為LCD,PDP,TFT,VFD,顯像管),硅材料生產(單晶硅、多晶硅),光纖生產,制卡業,表面貼裝(SMT),分離器件生產(功率一、二、三級管。電容、電阻),整機組裝生產(機頂盒、數字投影儀。電子數碼相機),自控元器件生產(傳感器、執行機構)等。

由于生產工藝種類繁多,對潔凈度等級要求也不同,高的很高,低的很低;對粒子粒徑控制的要求也不同,范圍約為0.1~5um;對溫濕度控制的要求相對較高,如集成電路前道工序一般要求室內溫度基數為22℃(精度±0.1~±1℃),相對濕度基數為40%(精度±2~±5℃;正壓值要求的梯度級別,隨著潔凈度的變化而從高到低變化,差值5~10Pa。

由于我國電子行業與國際先進水平差距較大,隨著經濟發展不斷加快,先進技術不斷進入我國。因此,生產工藝技術的更新,可謂日新月異,潔凈工程設計必須要適應這么快的變化節奏。

電子行業潔凈室的冷負荷比其他行業的潔凈室大很多,單位冷負荷達400~500W/㎡很常見。由于冷負荷大,一般情況下,冬季也需要供冷,這是電子行業的特點。

電子行業生產工藝過程產生的有毒有害氣體種類繁多,且量也大,所以需要的排風量和新風量也大。新排風的節能措施也是行業特點之一,排放前要做處理,使排風負荷環保要求。

電子行業生產工藝有抗靜電、抗微振的要求,并且大宗氣體和特種氣體種類多,對純度和潔凈度要求高。


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